半導體製程需求暴增,但矽晶圓價格居高不下、碳排放壓力日益嚴苛。再生晶圓(Reclaimed Wafer) 透過重複使用方案,成本僅新晶圓的 20–30 %,同時可減少 80 % 能源與用水。
這項看似「二手材料」的技術,正快速成為台積電、聯電等晶圓廠導入 ESG 與成本競爭力的關鍵。投資人關注的「再生晶圓概念股」究竟有哪些?市場空間多大?本文一次說清楚。
再生晶圓是什麼?
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定義:將已完成光阻曝光/蝕刻後的「測試用(Monitor)」矽晶圓,去除表面薄膜與殘留結構,再次磨拋至規格,可供後續機台校正、鍍膜試片或先進封裝打線測試。
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主要流程:
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去膜(Wet Strip/Plasma)
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研磨(Backgrind)
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化學機械拋光(CMP)
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表面檢測 & 分級
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品質等級:
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Prime Wafer(全新品)
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Reclaimed Wafer(再生,可達 Ra<0.5 nm)
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Test Wafer(較低階)
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成本優勢:再生晶圓成本約新晶圓 20–30 %;10k pcs 月產能年省 >1,000 萬美元。
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減碳效益:能耗、用水量均減少 60–80 %。
主要再生晶圓廠商與產能排行
根據 2024–2025 年公開資料統整,台股再生晶圓市場由三大業者主導,產能領先全球:
| 廠商 | 代號 | 2024 月產能(十二吋片) | 預估擴產至 |
|---|---|---|---|
| 昇陽半導體 | 8028 | 約 63 萬片 | 2026 年達 78 萬片/月 |
| 中砂 | 1560 | 約 30 萬片 | 2025 下半年新增 10 萬片/月 |
| 辛耘 | 3583 | 約 16 萬片 | 2025 +5–6 萬片/月,第2期另待實施 |
再生晶圓營收佔比整理
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昇陽半導體(8028)
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2024 年合併營收為 35.5 億元,主要業務即為再生晶圓,估算占比 > 90 %;且月產能全球第一
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中砂(1560)
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SBU(再生/承載晶圓)佔整體營收約 50%。擴產竹南廠後將進一步推升收益占比。
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辛耘(3583)
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目前轉型初期,但其再生晶圓業務為核心,預計透過擴產投入低製程晶圓市場,估計未來占比持續攀升。
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全球市場規模與成長
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2023 年全球再生晶圓市值約 14 億美元
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研調機構預估 2028 年將達 25 億美元,CAGR 約 12 %
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推進力:先進製程測試片需求 + 半導體 ESG 評分納入供應鏈碳排
應用場景與技術門檻
| 場景 | 製程節點 | 需求驅動 | 技術指標 |
|---|---|---|---|
| 機台校正試片 | 28 nm↑ | EUV 產能拉升,機台每日需 Monitor | TTV <1 µm |
| CMP 拋光耗材測試 | 65 nm↑ | 化學液參數優化 | 表面粗糙度 Ra<0.5 nm |
| 先進封裝打線 | CoWoS / AI GPU | 高單價新片避免報廢 | 邊緣厚度控制 <30 µm |
| 設備廠 Demo | Refab | 無塵室稽核、客戶驗證 | 顆粒密度 ≥Class 10 |
投資小提醒(風險揭露)
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客戶集中:台積電與三星占全球再生需求 50 %,接單波動高。
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良率挑戰:EUV 對再生缺陷容忍度極低,若規格不符恐遭下游砍單。
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折舊與現金流:再生線自動化設備折舊期 5–7 年,景氣低潮獲利收斂。
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競爭加劇:中國大陸新進廠商擴產 12 吋再生,價格壓力恐上升。
結論
再生晶圓憑藉 低成本 + ESG 減碳 + 先進製程需求,已成全球半導體減排與降本的關鍵環節。
台股龍頭中砂擁有台積電 On-Site 回收優勢,辛耘與環球晶則靠設備與材料垂直整合搶市。
投資人可關注廠商擴產進度、客戶簽約長約與良率提升,並分散持股以降低客戶集中風險。



